FFU的全稱叫FAN FILTER UNIT，“風(fēng)機(jī)過濾單元”，也就是風(fēng)機(jī)和過濾器聯(lián)結(jié)在一起，能自己提供動(dòng)力的潔凈設(shè)備。早在二十世紀(jì)六十年代，第一個(gè)層流室的建立就已經(jīng)開始出現(xiàn)FFU的應(yīng)用了。

FFU最早出現(xiàn)于一些有高潔凈度(≥100級 聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)要求的改造項(xiàng)目當(dāng)中，用來解決以下三方面的問題：

一、潔凈室吊頂空間不夠

在一些有高潔凈度要求的場合，FFU潔凈廠房吊頂上部的送風(fēng)靜壓箱有一個(gè)很大的作用就是來平衡潔凈室的橫斷面上的壓力，但是當(dāng)使用FFU的時(shí)侯，潔凈室的吊頂被分成了若干模塊，我們可以通過調(diào)節(jié)每個(gè)模塊(即FFU)來滿足吊頂上部送風(fēng)靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。在一些改造項(xiàng)目當(dāng)中，當(dāng)受層高限制時(shí)，F(xiàn)FU有效地解決了這一問題。

二、FFU潔凈廠房靜壓不足

在一些改造項(xiàng)目中，由于條件限制，使得送風(fēng)阻力很大，單獨(dú)靠空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)壓力來克服有困難，由于FFU自帶動(dòng)力，可以很好地解決這一問題。

三、空調(diào)機(jī)房面積不夠

有一些改造項(xiàng)目，由于空調(diào)機(jī)房面積較小，不可能容納大的空調(diào)機(jī)組，此時(shí)，用FFU的自帶動(dòng)力來彌補(bǔ)這一缺陷，從而可以減小使用的空調(diào)機(jī)組。這一優(yōu)勢也被應(yīng)用到一些潔凈度要求較低(如 1000級 10000級 聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)的場合。
但直到1984年，在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用FFU的事例（大約有5000臺）。是什么原因?qū)е翭FU在這么長的時(shí)間沒有得到廣泛的發(fā)展呢？有三個(gè)問題占主導(dǎo)地位。

第一：噪聲問題。各位可以想一想，在當(dāng)時(shí)的生產(chǎn)工藝水平下，5000臺風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會是多大呢？

第二：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個(gè)不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力，這在當(dāng)時(shí)也是不能夠得到保證的。

第三：維護(hù)問題。FFU本身造價(jià)就比較高，如果它的電機(jī)壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當(dāng)時(shí)的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。但是這一切，在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動(dòng)控制的發(fā)展，監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個(gè)角落的靜壓也變得容易起來。最后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍。現(xiàn)在，隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。國家之所以大力推廣FFU，正是因?yàn)樗旧淼膬?yōu)勢。

第一、靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二、可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔靜廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。

第四、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五、減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。比用常規(guī)的空調(diào)機(jī)組集中送風(fēng)減少約40%的運(yùn)行成本。