潔凈室內(nèi)壓力小于08mpa等于的氫氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣、煤氣等一般氣體和高純氣體管道及真空管道的安裝。氣體管道管材的型號、規(guī)格、化學(xué)成份及物理性能應(yīng)符合設(shè)計要求。管道的表面無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折迭、重皮、銹斑和麻點等缺陷。

氣體管道的附件應(yīng)符合下列要求：

一、閥門與氧氣接觸部分不得用可燃材料，其密封圈應(yīng)采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材質(zhì)。填料用經(jīng)脫脂處理的聚四氟乙烯；

二、氣體管道的法蘭墊片應(yīng)符合設(shè)計要求，材質(zhì)柔軟、無老化變質(zhì)和分層現(xiàn)象，表面不應(yīng)有折損和皺紋等缺陷；

三、氫、氧管道的附件、儀表及過濾器等，其材質(zhì)、型號和規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計要求，并有符合該介質(zhì)條件的出廠合格證書。

氣體管道安裝應(yīng)符合下列要求：

一、潔凈室管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計要求，設(shè)計無要求時，輸送干燥氣體的管道宜水平安裝；輸送潮濕氣體的管道應(yīng)安裝成有不小于0003的坡度，坡度應(yīng)坡向冷凝水收集器；

二、管道的連接采用焊接，并采用鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊蓋面工藝。不銹鋼管焊接或點固焊均應(yīng)采取管內(nèi)充氬保護措施；

三、氣體管道與設(shè)備、閥門及其他附件應(yīng)采用法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須采用聚四氟乙烯薄膜；

四、通過潔凈室的氣體管道，其法蘭墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理干凈；

五、氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化的無縫鋼管時必須采用集中安裝方式，并在48h內(nèi)分段組合安裝，充入壓力不小于02mpa的氮氣保護；

六、有接地要求的氣體管道，法蘭間必須焊有導(dǎo)電跨線，其導(dǎo)線截面及焊接搭接長度應(yīng)符合設(shè)計要求，焊點必須牢固、可靠。

高純氣體管道的安裝，除應(yīng)符合第444條有關(guān)要求外，還應(yīng)符合下列要求：

一、經(jīng)脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前必須采取保護措施，嚴防二次污染；

二、管口切割后，應(yīng)進行清洗，再進行分段組裝焊接；

三、管道預(yù)制、分段組裝作業(yè)，必須在環(huán)境清潔的條件下進行，嚴禁在室外露天作業(yè)；

四、分段預(yù)制或組裝的管段兩端應(yīng)用塑料布或盲板封閉，不得污染。

第446條無縫鋼管的處理應(yīng)符合下列要求：

一、無縫鋼管安裝前應(yīng)清除管內(nèi)外表面的鐵銹、污物。管道內(nèi)壁除銹應(yīng)根據(jù)設(shè)計要求進行，當設(shè)計無要求時，可按其管內(nèi)銹蝕情況采用一般除銹、噴砂除銹和酸洗、鈍化處

二、氫、氧管道安裝前，必須對油漬、鐵銹進行除銹或酸洗后再進行脫脂處理；

三、鋼管酸洗、鈍化或脫脂后，應(yīng)清除管內(nèi)殘留的溶液，并將處理合格的管道及時封閉管口；

四、脫脂后的管道、管件和墊片，安裝前必須嚴格檢查，用清潔、干燥的白色濾紙擦拭，不出現(xiàn)油跡為合格。

氣體管道各項試驗合格后，必須用經(jīng)過濾器去除塵埃后的無油壓縮空氣或高純氮氣吹掃，流速大20m燉ｓ，并以木槌在管道各處輕輕敲擊，直至末端無水跡、臟物為合格。高純氣體管道系統(tǒng)，末端測定的塵埃數(shù)，達到設(shè)計要求為合格。過濾器的過濾效率應(yīng)滿足氣體管道系統(tǒng)工藝對塵埃的要求。

第448條氣體管道吹掃合格后，應(yīng)再以實際輸送的氣體和壓力，對管道系統(tǒng)進行吹掃，在運行條件下無異常聲音和振動為合格。氣體管道輸送可燃性氣體之前，應(yīng)用惰性氣體置換。